艾明坷科技（北京）有限公司

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱调试或误操作。

办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。

2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障

原因：气源压力不足。

办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕显示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。

办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。